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薄膜厚度测量分为在线测试与非在线测试两种,最早用于薄膜厚度测量的是非在线测厚技术。之后,随着射线技术的不断发展逐渐研制出与薄膜生产线安装在一起的在线测厚设备。上个世纪60年代在线测厚技术就已经有了广泛的应用,现在更能够检测薄膜某一涂层的厚度。在线测厚技术与非在线测厚技术在测试原理上完全不同,在线测厚技术一般采用射线技术等非接触式测量法,非在线测厚技术一般采用机械测量法或者基于电涡流技术或电磁感应原理的测量法,也有采用光学测厚技术、超声波测厚技术的。
薄手机保护膜厚度测量是薄膜制造业的基础检测项目之一。薄膜其他一些性能指标都和厚度有关。很显然,倘若一批单层薄膜厚度不均匀,不但会影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等,更会影响薄膜的后续加工。对于复合薄膜,厚度的均匀性更加重要,只有整体厚度均匀,每一层树脂的厚度才可能均匀。因此,薄膜厚度是否均匀,是否与预设值一致,厚度偏差是否在指定的范围内,这些都成为薄膜是否能够具有某些特性指标的前提。
在线测厚较为常见的在线测厚技术有β射线技术,X射线技术和近红外技术。
1β射线技术β射线技术是最先应用于在线测厚技术上的射线技术,在上世纪60年代就已经广泛用于超薄薄膜的在线厚度测量了。它对于测量物没有要求,但β传感器对温度和大气压的变化、以及薄膜上下波动敏感,设备对于辐射保护装置要求很高,而且信号源更换费用昂贵,Pm147源可用5-6年,Kr85源可用10年,更换费用均在6000美元左右。